- 概述
- 理由
- 解答問(wèn)題
- 應(yīng)用指南
- 發(fā)表文章
對(duì)于光伏(PV)和薄膜電池(TFB)來(lái)說(shuō),要在成本上與化石燃料和傳統(tǒng)電池競(jìng)爭(zhēng),高制造成品率至關(guān)重要。CdTe/CdS和CdS/CIGS光伏器件的CdS層以及tbs的LiPON層的針孔導(dǎo)致良率損失和性能降低。掃描電鏡(SEM)平面視圖分析沒(méi)有深度分辨率來(lái)確定孔是否完全穿透一層。
Attolight CL技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于:
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通過(guò)對(duì)單元過(guò)程進(jìn)行針孔檢測(cè),縮短了開(kāi)發(fā)時(shí)間;可以比較工藝變量和沉積方法對(duì)針孔形成的影響。
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在針孔檢測(cè)過(guò)程中評(píng)估缺陷密度和成分梯度。
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快速自動(dòng)繪圖:65秒內(nèi)完成25 μm × 25 μm面積的繪圖。

CL通過(guò)檢測(cè)來(lái)自底層的光來(lái)檢測(cè)針孔,如下圖所示:
下面的SEM圖像和CL圖顯示了該技術(shù)在SnO2化學(xué)鍍液沉積的CdS上的針孔的實(shí)際應(yīng)用。發(fā)射圖譜如下:
a、CdS(掃描電鏡中的光區(qū)):綠色(帶隙)和紅色(中隙缺陷狀態(tài))。
b、針孔(SEM中的黑色區(qū)域):藍(lán)色(中間隙缺陷狀態(tài))來(lái)自孔底部的SnO2。